DZ Ŀ ġḦ ؾ Ѵ. ϴ ġ ߸ ִ ġƸ ٷ , ߶Ծ ִ ġƸ ϰ ִ ̴. Ŀ ̵ λ ġ ġ ϳϳ ߾ ־ Ѵ. ġ ϳϳ , ġư ִ ΰ Ʒ ° ̵Ű ̱ , DZ Ŀ ġƸ ̵ ϼ ִ ġᰡ ʿϴ.
ޱġ ٷ DZ ϴ = DZ ġḦ ϰ, ִ ñⰡ Ǹ , Ŀ ġḦ ϴ ̴. ǰ ִ ȯڵ ġ ߸ ǰ ġ ִ װ ϴ Ǿ ִ ̴. ġḦ ϰ Ǹ, ġư ùٸ ġ ̵ϸ鼭 Ͻ ȴ.
ֱٿ 鼭 ġ Ⱓ ְ, ó DZ ϰ, ޱ Ѵ. ߴ ְ ־ ǰ ִ. ȯڰ ƴϴ. ġƸ ٷ DZ , ġ ȭ ſ ϰų, Ҿ .
ܼ ̿뼺 ٸ Ǽ=DZ ߿ λ Ʒλ ߴ Ǽ̶ ϰ, θ ϴ 츦 Ǽ̶ Ѵ. Ʒ κи ϴ ̺μ ִ.
λ Ʒλ ÿ ϴ Ǽ Ÿ븦 ʿϱ ǰ˻, X-ray ˻, Һ˻ ⺻ ˻縦 ް ȴ. λ ġ ϱ , λ X-ray, CT Կ ڷ м ʿϴ.
Ǽ̶ ̿뼺 ƴϴ. Ÿ븦 ϰ ڸ ̱ ʴٰ . Ư Ǽ 쿡 ΰ Ʒ ߶ ⳪ ȣ Ȳ Ͼ ɼ ִ. ʿ 쿡 , ڿ ȯ ̷ 輺 ¿ ؾ Ѵ.
Ǽ ̸ ȹ , ȹ wafer ġ . ÿ, λ Ʒλ Ű ǰ, wafer ̿ؼ ġ Ѵ. ġ λ ̵Ű, ݼ ̿ؼ Ų Ѵ.
Ұ պ , ؾ= Ű ִ. Ű λ ϱ Ǽ ȯڴ ̴ κ ̿ պ ۿ . ÿ ̷ ջ ּȭϱ Ű̳ ջŰ ʰ Ű ⱸ ̿ϴ ִ. պ κ ƿ´.
Ǽ κ ȯڴ 20~30̱ ȯ 찡 κ̴. ̳ 索 ȯ ִ ϴ Ұ ƴϳ ȯڰ ȯ 赵 ߰ ʿϴ.
DZ պ ϴ ̹Ƿ, ̿ ؼ ȴ. , Ȥ õ λ ִ 쿡 DZ DZ ʿϰ ȴ. DZ Ǿȸܰ ǻӸ ƴ϶ ǿ ʼ̴.
/ä
chae@kwangju.co.kr